GIS开关站SF6气体泄漏在线监测系统:现货直供

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山东SF6气体抽真空充气装置电源连接本装置的供电电源为三相交流（五芯制，需接零线）50HZ 380V±10％，总功率≤5KW。装置的电器控制元件全部集中在电控箱内，电器线路图可参见附录五电器原理图、附录六电控箱元件布置图。因按钮、开关及指示灯安装在电控箱的门上，故在正常工作状态下电控箱不用打开，见附录七电控箱操作面板图，只须将放在回收装置贮存容器边上的动力电缆线插头与适当的电源连接。在本节上述几项开机前的工作均已完成的情况下方可开启电控箱电源开关，进入工作状态，此时需按第五节的说明进行操作。电器线路中设有断相与相序保护继电器，可手动调正电源相序。五、操作说明及注意事项进入工作状态的操作应是在完成第四节有关内容的工作后才能进行。本装置具有抽真空、回收贮存、充放、灌瓶、净化干燥五个基本功能及相应的组合功能，下面按各功能分别说明其操作，操作时应注意按先后顺序进行。阀门在下述开机时均假设处于关闭状态。5.1、抽真空指将装置或系统从一个大气压抽至本装置极限真空度或认定的真空度。注意点：开真空泵抽真空前，根据需要决定是否连接管路排放至室外。开真空泵抽真空前，必须保证被抽装置或系统压力为零表压或以下。凡需要观察真空度时，按下电阻真空计开关，电磁阀工作灯亮，观察完毕后随时关闭电阻真空计开关。

山东SF6气体抽真空充气装置标定数据因随意更改标定数据，会严重影响仪器的使用。所以我们并不开放数据的标定功能。如有需要可以联系我公司技术支持。4.10 测量完毕后1)关闭仪器上的高精度针型调节阀。2)将转接头从SF6电气设备上取下。3)将测试管和仪器后面版之间连接的快速插头退下。4)重复如上步骤，测试下一项数据。5)全部测试完成后，关闭电源。5.注意事项1.仪器应放置在安全位置，防止摔坏，避免剧烈震动。2.仪器使用前，应及时充电。3.充电时只需将电源线接入交流电插座，无需打开电源开关，仪器将自动充电，充电时间一般需要6 至 8个小时。4.仪器内部使用高容量锂电池，因为电池特性。所以建议仪器长时间不用时，能够每1至2个月冲一次电。以保持锂电池的活性。5.仪器不用时，应放入铝合金包装箱，并置于试验台或仪器架上以便防尘、防潮。6.仪器每年用标准气体标定一次。可送至厂家或授权单位进行标定，以确保准确性。6.常见故障及排除故障可能原因处理方法露点值不变化气体未进入检测器检查气路连接，查看针形阀、流量阀是否打开传感器连接线开路发送至厂家检查露点值偏高气路漏气使用检漏仪检测气路是否漏气仪器放置时间过长用高纯氮清洗气路30分钟，激活传感器灵敏度降低发送至厂家进行校准传感器失效发送至厂家进行维修露点值偏低灵敏度太高发送至厂家进行校准充电指示灯不亮电路故障检查电路电池电压太低充电蜂鸣器不响蜂鸣器故障更换蜂鸣器电路故障检查蜂鸣器电路蜂鸣器响不停电路故障检查仪器传感器输出线松脱检查传感器连接线报警点设置太低重新标定设置LCD无显示LCD连接不好检查连接线插件电压低于5.8V充电或更换电池电路故障送我公司维修7.保修及技术支持本产品免费保修期为一年，但提供终身维修服务。

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山东SF6气体抽真空充气装置 SF6气体泄漏智能监控报警系统是根据《SF6安全法规》，为在安装有SF6设备的配电装置室的工作人员提供人身健康安全保护而设计、开发的智能型在线监测系统。它主要检测开关室SF6气体浓度含量和氧气含量，当环境中SF6气体含量超标或缺氧时，能实时进行报警，同时自动开启通风机进行通风，并具有温湿度检测、工作状态语音提示、远传报警、历史数据查询等诸多丰富功能。它独有的微量SF6气体检测技术，能检测到10~5000ppm浓度的SF6气体，不仅可以达到保障人身安全的目的，而且还能确保设备正常运行；进口高稳定的氧传感器，可以为现场工作人员提供更多一层可靠保护。本系统可为广泛应用于各种电压等级的SF6开关室、SF6开关室、组合电气室（GIS室）、SF6主变室等。1.2、主要特点 超限报警泄漏时自动启动风机排风功能； 环境中O2含量检测功能；缺氧时自动报警，自动排风； 大屏幕液晶动态中文显示，具有屏幕自动保护功能。界面友好，刷新速度快； SF6、O2气体含量超标时，风机自动启动功能； 定时排风功能； 报警时启动强制排风功能； 相关历史数据存储及检索功能； 温度、湿度检测、报警及显示； 语音提示报警功能；

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山东SF6气体抽真空充气装置开启冷冻压缩机吸入氟里昂，注意此时应控制氟里昂钢瓶阀门开启度，避免流量过大使压缩机积液。充注过程中注意氟里昂钢瓶重量变化，达到充注量后即可停止充注。关闭氟里昂钢瓶阀门、截止阀，恢复正常工作状态。如果制冷剂过量，应从储液排气口放出R22。6.4、净化、干燥系统6.4.1油分离器装置中有两只油分离器，安装在SF6压缩机出口。6.4.2干燥过滤器干燥过滤器应定期再生处理或更换分子筛，若长期停机或发现SF6气体含水量超过标准，应在使用前进行再生处理。6.5、仪表本装置主要仪表有压力表、真空计，用户应根据仪表计量规定，定期进行校验。真空计在需观察时打开电阻真空计开关，内置电磁阀指示灯亮，观察完毕关闭电阻真空计开关。七、常见故障和消除方法下面分电器、真空泵、压缩机、冷冻系统、净化干燥系统、仪表、系统等几个方面列出了SF6回收装置不能正常工作可能遇到的故障。请注意：调换任何部件，必须首先切断回收装置总电源。7.1、电器序号故障可能的原因处理方法1SF6回收装置连接后，推上电源后15秒内指示灯5XD不亮相序不正确继电器2 JXW缺陷指示灯缺陷转动拨动开关到1或2检查继电器2 JXW检查指示灯5XD2真空泵运行，指示灯1XD不亮指示灯缺陷检查指示灯1XD3SF6压缩机运行，指示灯2XD不亮指示灯缺陷检查指示灯2XD4冷冻机运行，指示灯3XD不亮指示灯缺陷检查指示灯3XD5电加热工作，指示灯4XD不亮指示灯缺陷检查指示灯5XD6真空泵电机不转小型断路器不工作电动机过载电动机缺陷接触器缺陷检查断路器1DL检查热继电器1RJ检查真空泵电机检查线圈1C和触点7SF6压缩机电机不转断路器熔断电动机过载接触器缺陷电动机缺陷检查断路器2DL检查热继电器2RJ检查线圈2C和触点检查电动机8冷冻压缩机不转断路器熔断电动机过载接触器缺陷电动机缺陷刚通电或停机时间少于3分钟检查断路器3DL检查热继电器3RJ检查线圈3C和触点检查电动机请稍候9冷冻压缩机转，

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山东SF6气体抽真空充气装置系统中真空泵的进气口内设置了防回油阀装置，当真空泵停止工作时防回油装置自动关闭，出气口的大气压进入泵腔，从而避免泵油逆流污染真空系统。系统中的冷冻系统由高低压压力控制器整定冷冻压缩机的进出口压力。一旦超出限值范围将自行切断冷冻压缩机的工作，低压断开时待压力回升或高压断开时，待压力回落后，再重新启动压缩机。总体结构，该装置采用手推移动式，可适应室内外正常环境条件下使用。本装置系统比较复杂，由真空泵、SF6压缩机、冷冻系统、贮存容器、管路、各种阀门、仪表及其他附件组成。电控箱、操作阀门和监视仪表全部集中于一侧面板且有流程指示，因而使用时方便明了。四、开机前的工作4.1、注意要点开机前请注意如下几点：管路连接要保证连接处的密封性。由于本装置出厂时已抽真空，但建议首次开机时先对本装置抽真空，方法见第五节有关内容。在首次开机使用后，一般应在贮存容器和管路内留少量SF6气体，否则开机时建议重新抽真空。4.2、管路连接用户在使用前，首先应将随机发送的橡胶软管根据功能的需要连接好，为尽可能减小管路损失，管路应尽量短。回收：电器设备——橡胶软管——回收进气口充放：电器设备——橡胶软管——充放出气（液）口电器设备SF6回收灌瓶需二根软管：电器设备——橡胶软管——回收进气口钢瓶——橡胶软管——充放出气（液）口贮存容器内SF6灌瓶：钢瓶——橡胶软管——充放出气（液）口4.3、油位检查回收装置中压缩机采用3GS冷冻机油作为润滑剂，真空泵采用高速真空泵油作为润滑剂，开机前应先检查油位。如果油位太低或太高，应加油或放油至油标视镜2/3位置，在运行中也应注意定期检查实际油位线，不应低于油位2/3太多。100＃机油，原则上使用期一年，到期需调换机油。4.4、冷冻系统检查冷冻系统采用R22为制冷剂，压缩机为全封闭活塞式压缩机，需要时则添加制冷剂。开机前还应检查线路有无损伤，接头有否松动，风机是否正常等等。

山东SF6气体抽真空充气装置 本装置就是为了制造和维修SF6电器设备时，回收和充加SF6气体的一种专用设备。1.1.1适用范围本装置适用于SF6电气设备中六氟化硫气体进行抽真空、充气、回充、净化及回收。1.1.2设计方案本装置由SF6气体回收装置组成。涉及的产品的主要优点为能直接将回收的SF6气体以液态的形式贮存入容器，并能将GIS内的残压回收至53Kpa（绝压），拥有较小的体积，便于移动的放置，拥有较快的抽真空速度，能对回收的SF6气体进行干燥和过滤，还能回充SF6气体至SF6电气设备。技术特点内置过滤吸附系统，可以吸附SF6气体中的的杂质、水份、分解产物和油份等。1一体化的设计和较小的体积便于移动和使用。1.2.3、高效的过滤免维护系统，极大保证了回收SF6气体的质量。内置相序保护器，无论何时均能免除主机因相序错误而反转的担忧。所有电气系统均采用优质品牌。优质的脚轮将极大的保护地面油漆，并减少推动时所需的人工。整机为风冷无需外接水源。、内置温度保护系统即使在-30摄氏度下也能正常工作。内置干燥加热系统，可确保干燥剂饱和之后可通过设备加热活化再生，从而无需更换干燥剂。所有球阀为密封元件具有自动补偿性能。

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山东SF6气体抽真空充气装置日 常 维 护 与 常 见 故 障3.1、日常维护须知3.1.1、气体探头在使用过程中应避免大量灰尘、水和化学品的侵入，并定期清除变送器表面的积灰。3.1.2、主机及探头严禁覆盖、挤压、碰撞，以及不恰当的操作，避免影响系统正常工作，甚至导致损坏！3.1.3、如发现异常情况，现场无法处理，请及时与我公司技术人员联系。3.2、常见故障排除请参照以下办法，依次进行故障排除：3.2.1系统主机无任何显示1．检查是否有电源输入；2．检查主机右侧边的电源开关是否打开；3．打开主机接线盒，检查电源输入插座是否紧固；4．如果进行以上检查均没有发现问题，请立即与我们的技术人员联系。3.2.2主机显示混乱或部分无显示1．按异常时显示的采集器信号端是否正常；2．检查风控接线插头是否紧固；3．关闭主机电源，等待1分钟重新启动，如还有问题，请立即与我们的技术人员联系。注意：主机正常情况下，请勿擅自调动，如发现异常问题，请与我们技术部联系！4、接线图4.1、主机接线图（版本VER:XA29C61）第1组凤凰端子定义1、2：220V电源输入； 3、4：接地； 5、6：220V电源输出；7、8：无源警灯输出节点； 9、10：12V警灯输出节点（9：＋，10：-）；11、12：故障报警输出节点（正常：闭合，故障：断开）； 13、14：泄漏报警输出节点（正常：断开，故障：闭合）；15、16：温度报警输出节点（正常：断开，故障：闭合）；17、18：湿度报警输出节点（正常：断开，故障：闭合）；第2组凤凰端子定义1、2:12V电源输出（1：12V正，2：12V负）；3、4/5、6：外部红外节点输入节点（常闭，不使用时需短接）； 5、7/8、9：外部红外节点输入节点（常开）；11、12：24V电源输出（11：24V正，12：24V负）；13、14：外部MODBUS输出； 15、16：内部MODBUS输出；4.2、变送器模块接线定义两芯接电源，1为电源正，二为电源负，三芯接通信，1为RS485A，3为RS485B。4.3、风机控制器接线定义（风机控制器接线图）N、L：220V电源输入，D为接地A、B：为主机内部通信接入点ABC和CBA为无源触电（内部为交流接触器），接入时A-A、B-B、C-C必须一一对应。

山东SF6气体抽真空充气装置功能检测（功能检测）测试各个模块，各个功能是否工作正常，此界面可以用于系统的检修查看和型式试验 系统帮助（系统帮助）此界面下留有公司的详细信息，传真、售后服务电话。2.3.6、配置时间（配置时间）轻触旁边表盘‘’，‘’，‘’，‘’，‘’可以配置主机相关内容。根据表盘信息修改时间参数。2.4、实时数据（实时数据）此界面下可以远程启动风机，启动对应编号风机，启动对应编号风机时间。可以粗略的观察系统工作状态，是否有报警信息。编号： 00：广播地址，通知操作所以的风机控制器01....16：通信地址，针对对应编号的风机控制器进行操作点击启动按钮：对应编号的风机控制器将开启。点击停止按钮：对应编号的风机控制器将关闭。点击详细数据将进入如下界面：（气体实时数据）左边按钮：为进入相关实时数据界面按钮。上一页、下一页：当单页数据超过10个，可以通过这两个按钮查看其他多个数据。（温湿度实时数据）左边按钮：为进入相关实时数据界面按钮。上一页、下一页：当单页数据超过10个，可以通过这两个按钮查看其他多个数据。（风机动作实时数据）左边按钮：为进入相关实时数据界面按钮。上一页、下一页：当单页数据超过10个，可以通过这两个按钮查看其他多个数据。2.5、历史数据（气体历史报警数据）左边按钮：为进入相关历史数据界面按钮。上一页、下一页：当历史数据超过10个，可以通过这两个按钮查看其他多个数据。（温湿度历史报警数据）左边按钮：为进入相关历史数据界面按钮。上一页、下一页：当历史数据超过10个，可以通过这两个按钮查看其他多个数据。（风机动作历史数据）左边按钮：为进入相关历史数据界面按钮。上一页、下一页：当历史数据超过10个，可以通过这两个按钮查看其他多个数据。

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山东SF6气体抽真空充气装置主要技术参数 SF6浓度超限报警点：1000ppm精度＜±2％； O2浓度检测范围0－25％，缺氧报警点：18％，精度＜±0.5％； 温度显示范围：-20～＋99℃，精度＜±0.5％； 湿度显示范围：0～99％RH，精度＜±3％； 输入电源：AC 220V±20％； 报警输出接点功率：AC220/5A； 风机输出接点：380V/15A（三相）或220V/15A； 风机启动：O2含量≤19.6％或SF6气体浓度＞1000ppm时，自动启动风机，每次启动时间按时段自动设置，可手动控制或强制启动风机； 海量报警信息存储设计； 5路大容量报警触点输出。 SF6、O2变送器采用进口原装的传感器，寿命长； SF6气体检测报警误差＜1％，氧气报警误差＜0.5％； 风机控制器可控制原有风机。1.4、系统原理图2、主机操作说明2.1、主界面仪器采用触摸界面设置，轻触任意空白处，显示界面背景将有如下5幅图片切换。触摸任意地方切换背景图片2.2、配置主机（配置主机）轻触旁边表盘 可以配置主机相关内容。此界面下可以配置背光，语音及其所有模块信息。主机编号：当前主机编码。气体变送器、风机控制器、温湿度控制器：根据系统配置任意设置。配置背光：当前液晶背光等级。背光延时：自动关闭背光时间设置。语音启动/关闭：系统语音配置开关。密钥功能：此功能启动后，进入配置主机和系统设置两个界面需要输入密码（系统初始密码为888888）。外部红外启动警灯：当外部红外感应到有人是自动开启警灯，开启警灯时间可设。当时间为0是默认关闭此功能。2.3、系统设置（系统设置）当配置主机密钥功能设置为启动时，进入系统设置和配置主机将出现输入密码界面：初始密码为：888888当输入正确的六位数密码后点击确认，系统将进入相对应的窗口。点击修改密码：根据提示输入旧的六位数密码，两次输入新的六位数密码，如果都输入正确，系统会提示新输入的密码正确，此时退出密码服务窗口，重新进入相对应的界面。清除：输错密码，可以点击清除按钮，然后重新输入。

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山东SF6气体抽真空充气装置系统中真空泵的进气口内设置了防回油阀装置，当真空泵停止工作时防回油装置自动关闭，出气口的大气压进入泵腔，从而避免泵油逆流污染真空系统。系统中的冷冻系统由高低压压力控制器整定冷冻压缩机的进出口压力。一旦超出限值范围将自行切断冷冻压缩机的工作，低压断开时待压力回升或高压断开时，待压力回落后，再重新启动压缩机。总体结构，该装置采用手推移动式，可适应室内外正常环境条件下使用。本装置系统比较复杂，由真空泵、SF6压缩机、冷冻系统、贮存容器、管路、各种阀门、仪表及其他附件组成。电控箱、操作阀门和监视仪表全部集中于一侧面板且有流程指示，因而使用时方便明了。四、开机前的工作4.1、注意要点开机前请注意如下几点：管路连接要保证连接处的密封性。由于本装置出厂时已抽真空，但建议首次开机时先对本装置抽真空，方法见第五节有关内容。在首次开机使用后，一般应在贮存容器和管路内留少量SF6气体，否则开机时建议重新抽真空。4.2、管路连接用户在使用前，首先应将随机发送的橡胶软管根据功能的需要连接好，为尽可能减小管路损失，管路应尽量短。回收：电器设备——橡胶软管——回收进气口充放：电器设备——橡胶软管——充放出气（液）口电器设备SF6回收灌瓶需二根软管：电器设备——橡胶软管——回收进气口钢瓶——橡胶软管——充放出气（液）口贮存容器内SF6灌瓶：钢瓶——橡胶软管——充放出气（液）口4.3、油位检查回收装置中压缩机采用3GS冷冻机油作为润滑剂，真空泵采用高速真空泵油作为润滑剂，开机前应先检查油位。如果油位太低或太高，应加油或放油至油标视镜2/3位置，在运行中也应注意定期检查实际油位线，不应低于油位2/3太多。100＃机油，原则上使用期一年，到期需调换机油。4.4、冷冻系统检查冷冻系统采用R22为制冷剂，压缩机为全封闭活塞式压缩机，需要时则添加制冷剂。开机前还应检查线路有无损伤，接头有否松动，风机是否正常等等。

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山东SF6气体抽真空充气装置 另外，系统中还设置了监视仪表和控制仪表共七只，其中真空计一只，安装在装置回收进气口，并在真空计前装置了DN8阀门，需要观察时打开即可；压力表五只，分别安装在回收进气口、SF6压缩机排气口、冷冻压缩机吸排气口和贮存容器上；冷冻系统上设置了一只温度计，利用温包感应SF6液体温度。系统中真空泵的进口处装有电磁真空带充气阀，并与真空泵接在同一个电源上，当泵停止工作时，阀能自动将真空系统封闭，并将大气通过泵的进口充入泵腔，从而避免泵油逆流污染真空系统。系统中的冷冻系统由高低压压力控制器整定冷冻压缩机的进出口压力。一旦超出限值范围将自行切断冷冻压缩机的工作，低压断开时待压力回升或高压断开时，待压力回落后，再重新启动压缩机。总体结构，该装置采用手推移动式，可适应室内外正常环境条件下使用。本装置系统比较复杂，由真空泵、SF6压缩机、冷冻系统、贮存容器、管路、各种阀门、仪表及其他附件组成。电控箱、操作阀门和监视仪表全部集中于一侧面板且有流程指示，因而使用时方便明了。四、开机前的工作1、注意要点开机前请注意如下几点：管路连接要保证连接处的密封性。由于本装置出厂时已抽真空，但建议首次开机时先对本装置抽真空，方法见第五节有关内容。在首次开机使用后，一般应在贮存容器和管路内留少量SF6气体，否则开机时建议重新抽真空。2、管路连接用户在使用前，首先应将随机发送的橡胶软管根据功能的需要连接好，为尽可能减小管路损失，管路应尽量短。

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山东SF6气体抽真空充气装置干燥效果不好可能是分子筛饱和应进行自再生处理，也可能干燥过滤器堵塞，应拆开检查，必要时更换内件。7.6、仪表7.6.1压力控制器达到上下限值但不切断电路，可能为压力控制器线路有故障，应拆开检查，必要时更换。7.6.2其他压力表或真空计读数不准，可能为仪表损坏，应校验或更换。7.6.3各仪表不读数，应检查各接口是否完好。八、售后服务8.1自设备之日起，提供产品的质保期为1年。8.2设备出现故障而买方无法解决时，72小时响应并给予解决方案。8.3技术文件：提供完整的相关技术文件与资料。技术文件包括图纸、说明书等。技术文件的形式和内容应尽量详细和易于理解，应能满足设计、安装维护技术人员的工作需要。8.4说明书：设备的安装使用及维护有详细的说明书图纸资料。8.5技术培训：对用户运行人员和维护人员进行一般维护工作的技术培训。8.6在设备安装和调试过程中，公司安排有经验的工程技术人员提供安装调试指导等服务。8.7提供安排需方到工厂技术培训，并应提供相关的中文培训教材和资料。8.8设备终身维修。8.9用户可随时将仪器的使用情况或意见告知本公司。单位名称：青岛天正华意电气设备有限公司

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山东SF6气体抽真空充气装置、简明参数表型号TH7T-15-50真空泵抽速（m3/h）15极限真空度（Pa）10真空泵国产双极真空泵SF6回收压缩机（m3/h）12.2压力（MPa）2.5压缩机厂家半封闭谷轮压缩机过滤器颗粒（微米）0.02油份（PPM）高效酸值（PPM）0.1可水解氟化物（PPM）0.2生物毒性无水份（PPM）≤60SF6纯度≥99.9％SF6贮罐50LSF6贮罐材质碳钢制冷系统优质高效压缩机过滤器美国原装干燥器美国原装真空计数显阀门独有技术（内置蝶形密封，确保多次开关不会漏气）2.3、主要技术参数描述2.3.1、回收回收初压力≤0.8MPa回收终压力≤50KPa回收时间：对初压力0.8MPa的1 m3 SF6气体容积，回收至终压力50KPa，回收时间小于2.5小时。2.3.2、充气对初压力为133Pa的1 m3 SF6气体容积充至0.8MPa，充气时间小于0.8小时。2.3.3、抽真空装置极限真空度小于等于10 Pa对初压力为0.1MPa的1 m3 SF6气体容积抽真空至133Pa所需时间小于1.0小时。2.3.4、贮存贮存容器容积0.05m3名义液态贮存量50kg贮存压力3.8 MPa2.3.5、净化对含水量1000PPM（体积比）以下的SF6气体，经本装置一次回收净化后，水份小于60PPM（重量比），油份小于10PPM（重量比）2.3.6、年泄漏率≤1％名义储存量2.3.7、噪声≤75dB(A)声压级2.3.8、工作环境温度 -10°- 40℃2.3.9、功率≤5KW2.3.10、电源：交流三相五线制 50HZ 380V±10％2.3.11、重量约600 kg2.3.12、外形尺寸（长×宽×高）：1400×810×1350三、工作原理和结构特征TH7T-15-50型SF6气体回收充放装置具有回收、充放、净化、抽真空、贮存、灌瓶等综合性功能，系统比较完全。

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山东SF6气体抽真空充气装置测量完毕后1)关闭仪器上的高精度针型调节阀。2)将转接头从SF6电气设备上取下。3)将测试管和仪器后面版之间连接的快速插头退下。4)重复如上步骤，测试下一项数据。5)全部测试完成后，关闭电源。5.注意事项1.仪器应放置在安全位置，防止摔坏，避免剧烈震动。2.仪器使用前，应及时充电。3.充电时只需将电源线接入交流电插座，无需打开电源开关，仪器将自动充电，充电时间一般需要10个小时以上。4.仪器内部使用高容量锂电池，因为电池特性。所以建议仪器长时间不用时，能够每1~2个月冲一次电。以保持锂电池的活性。5.仪器不用应放入铝合金包装箱，并置于试验台或仪器架上以便防尘、防潮。6.仪器每年用标准气体标定一次。可送至厂家或授权单位进行标定，以确保准确性。7.当检测气体中的HF和CF4浓度较高时，应使用干净的气体（空气或氮气）清洗管道，将仪器内部清洗干净后再进行下一次测量。8.当检出设备中的HF和CF4浓度超过正常值时，建议测量两次，确认结果。6.常见故障及排除故障可能原因处理方法露点值不变化气体未进入检测器检查气路连接，查看针形阀、流量阀是否打开传感器连接线开路发送至厂家检查露点值偏高气路漏气使用检漏仪检测气路是否漏气仪器放置时间过长用高纯氮清洗气路30分钟，

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