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70年后期将氮气喷冷压力从(1~2)%26times;10Pa提高到(5~6)%26times;10Pa，使冷却能力接近于常压下冷。80年中期现超高压气淬，(10~20)%26times;10Pa氦，冷却能力等于或略高于淬，已进入工业实。90年初采40%26times;10Pa氢气，接近水淬冷却能力，尚处于起步阶段。
工业发达已进展到以高压(5~6)%26times;10。Pa气淬为主体，而中国产气淬一些金属蒸气压(理论值)与温度关系则尚处于一般加压气淬(2%26times;10Pa)阶段。结果真空渗碳为真空渗碳一淬火工艺曲线。在真空中加热到渗碳温度并保温使表面净化、活化之后，通入稀薄渗碳富化气(见控制气氛热处理)，在大约1330Pa(10T0rr)负压下进行渗入，然后停气(降压)进行扩散。
渗碳后精密钢管淬火采一次淬火法，即先停电，通氮冷却工件至临界点A，、以下，使内部发生相变，再停气、开泵，升温到Ac1，~Accm之间。淬冷方法可采气冷或冷。后者为奥氏体化后移入前室，充氮至常压，入。真空渗碳温度一般高于普通气体渗碳，常采920~1040℃渗入和扩散可按所示分两阶段，也可脉冲式通气、停气，多段式渗一扩相间，效果更好。
