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灭弧不用检修的优点，在配电网中应用较为普及，发展简史1893年，美国的里顿豪斯提出了结构简单的真空灭弧室，并获得了设计 ，1920年瑞典佛加公司次制成了真空开关，1926年等公布的研究成果也显示了在真空中分断电流的可能性。
但因分断能力小，又受到真空技术和真空材料发展水平的限制，尚不能投入实际使用，随着真空技术的发展，50年代美国才制成批适用于切断电容器组等特殊要求的真空开关,分断电流尚停在4千安的水平，由于真空材料冶炼技术上的进步和真空开关触头结构研究上所取得的突破。
1961年，开始生产15千伏，分断电流为12.5千安的真空断路器，1966年试制成15千伏，26千安和31.5千安的真空断路器，从而使真空断路器进入了高电压，大容量的电力系统，80年代中期，真空断路器的分断能力已达100千安。
从1958年开始研制真空开关，1960年西安交通大学和西安开关整流器厂共同研制成批6.7千伏，分断能力为600安的真空开关;随后又制成10千伏，分断能力为1.5千安的三相真空开关，1969年华光电子管厂和西安高压电器研究所制成了10千伏。
2千安单相快速真空开关，70年代以后，已能独立研制和生产各种规格的真空开关，真空断路器通常可分多个电压等级，低压型一般用于防爆电气使用，像煤矿等等，2真空断路器的特点①触头开距小，10KV真空断路器的触头开距只有10mm左右。
操作机构的操作功就小，机械部分行程小，其机械寿命就长，②燃弧时间短，且与开关电流大小无关，一般只有半周波，③熄弧后触头间隙介质恢复速度快，对开断近区故障性能较好，④由于疏通在开断电流时磨损量较小，所以触头的电气寿命长。
满容量开断达30-50次，额定电流开断达5000次以上，噪音小适于频繁操作，⑤体积小，重量轻，⑥适用于开断容性负荷电流，由于其优点很多，所以广泛应用于变电站中，目前型号主要有:ZN12-10型，ZN28A-10型。
ZN65A-12型，ZN12A-12型，VS1型，ZN30型等，具体介绍真空断路器技术标准真空断路器在我国近十年来得到了蓬勃的发展，产品从过去的ZN1-ZN5几个品种发展到数十多个型号，品种，额定电流达到5000A。
并通过模拟灭弧室真空测量实验对分析结果进行验证，借此探索出真空断路器灭弧室内真空度与灭弧室外电场电位间的对应关系，为实现真空断路器高真空度在线监测和状态评估提供参考。目前真空断路器凭借着优越的性能而在中压领域得到广泛普及，并且正在不断地向低压领域和高压领域进军，而真空灭弧室又被视为真空断路器的核心部件，因此真空灭弧
室的研制和开发被学者们给予高度的重视。随着当今大气环境质量问题越来越引起人们的高度重视，真空断路器在未来完全替代SF6 断路器将成为发展的必然趋势。真空灭弧室对电弧的控制是通过电流流过触头时产生磁场来实现的，不同结构的触头可以产生不同方向的磁场。一种是产生横向磁场并施加在真空电弧上来驱使集聚型电弧在洛伦兹力的作用下在触头的表面以极高的速度旋转，减小阴极斑点和阳极斑点对电极表面的烧蚀时间;另一种是产
生纵向磁场并施加在真空电弧上以减小电弧的电流密度，使真空电弧在大电流情况下仍然保持扩散形态。目前纵向磁场触头结构在开断大电流的真空灭弧室中应用十分普遍，他具有结构简单，制造及加工成本低，可靠性高等优点。 早期的纵磁触头结构可以产生均匀的纵向磁场，使真空电弧在电流较大的情况下仍然可以保持扩散形态，减少电弧集聚导致触头烧蚀的几率，但是随着开断电流的继续增大，触头产生的纵向磁场不能有效的控制
真空电弧形态以至于触头表面仍然会出现较为严重的烧蚀情况。铁芯的加入大大的提高了纵向磁场的强度，使同样结构的触头可以产生更强的纵向磁场，从而有效的控制了真空电弧形态，提高了真空灭弧室的可靠性。然而铁芯的加入在提高纵向磁场强度的同时也带来了一些负面的影响，在电流过零时磁场不能迅速消退，即电流过零时带铁芯的触头结构较不带铁芯的触头结构剩余磁场较大，这将抑制了触头间隙中等离子体的快速散去，在恢复电压的作用
下极易发生复燃导致触头不能成功开断
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